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2016年沈陽IC裝備產業實現銷售收入19.4億元
深圳市馨晋商电子有限公司 发布:2017-3-9

企業訂單源源不斷,車間必須24小時連軸轉。今年產值預計可達2.5億元,將比上年增長100%……3月6日,沈陽IC裝備產業園內,國內唯一IC裝備精密零部件全制程工藝解決方案提供商——沈陽富創精密設備有限公司裡生產繁忙。

  富創的快速成長,正是沈陽IC(集成電路)裝備產業發展的一個縮影。記者從沈陽市經信委獲悉,2016年,沈陽IC裝備產業實現銷售收入19.4億元,同比增長14.9%。

  集成電路與國民經濟及百姓生活密切相關,小到U盤、手機,大到飛機及尖端武器,都離不開集成電路。正因其重要的戰略價值,發達國家一直對先進集成電路制造技術、產品輸出進行嚴格控制。

  IC裝備,就是生產集成電路的裝備。沈陽IC裝備產業以整機和精密零部件結合為特色,建立了全國第一個IC裝備制造產業基地,擁有國內唯一的IC裝備產業技術創新戰略聯盟。通過人才引進、國際合作、自主創新等方式,沈陽IC裝備產業實現了從小到大、由弱到強的跨越式發展。引進7個海外專家團隊,培養出一批高素質專業技術人才﹔突破了一批制約我國IC裝備產業發展的關鍵技術,開發出勻膠顯影、羅茨干泵、潔淨機械手等一批填補國內空白、具有良好產業化前景的整機裝備和單元部件產品。

  國家“千人計劃”專家、沈陽拓荊科技有限公司董事長姜謙,就是沈陽引進的高端領軍人才代表。通過技術攻關,拓荊科技成功研制了PECVD薄膜設備、ALD設備、新一代閃存領域薄膜設備3DNAND三個系列產品,填補多項國內空白。經驗証,其產品指標等同或優於國外同類產品,成本卻比進口設備低了30%。

  拓荊科技銷售收入連年翻番,2016年較上年增長超過150%,預計今年拓荊科技的人均產值將達到100萬元。姜謙介紹,拓荊新廠現已投入運行,一期可實現100台套生產能力,全部投產后年產能可達350台套,支撐最大年產值50億元。

  市經信委相關負責人介紹,沈陽IC裝備產業已經度過最艱難的“孵化期”,進入了快速發展和產業化階段,現已形成“一項控制系統技術、四類重要整機裝備、一批關鍵單元部件和一個關鍵零部件支撐平台”的生產配套能力,與北京、上海共同構成我國IC裝備產業發展三大重點地區。

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